石英材料:0716-8304668/0716-8333088
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材料簡介
Introduction
黑色石英玻璃材料同時具備
低熱導(dǎo)率,
因此可提高工藝環(huán)境的熱均勻性,屏蔽過程中向外輻射熱量,
從而增加熱管理的自由度。此外,較其他黑色陶瓷其加工性能更優(yōu)。
Black quartz glass material has high purity, high optical absorption, high emissivity, and low thermal conductivity at the same time, so it can improve the thermal uniformity of the process environment and shield the heat radiated outward during the process, thus increasing the freedom of thermal management. In addition, it has better processing properties than other black ceramics.
物理性能
Physical Property
密度(g/cm3 )
孔隙率
孔徑
線膨脹系數(shù)( 0-900℃)10-6 ℃ -1
比熱(J/g·K) 20℃
最高工作溫度—持續(xù)穩(wěn)定的℃
最高工作溫度—短期℃
介電損耗角 室溫 13.56 MHz
熱導(dǎo)率(W/m·k) 在20℃條件下
2.19~2.20
<0.5%
<10 μm
0.60
0.73
1150
1300
90×10-4
1.65
雜質(zhì)含量
Chemical purity
雜質(zhì)元素典型值 (ppm)
Al
11.57
Ca
0.90
Mg
0.03
Cu
0.0
Fe
0.77
Ni
0.02
Mn
0.00
Li
0.25
K
0.31
Na
0.91
Zr
1.52
Ti
1.21
B
0.02
Co
0.00
總和
17.50
光學(xué)性能
Optical Properties
發(fā)射率
(10-20μm)
>80%
1000℃電熔不透明石英FSTQZ?B(黑石英)發(fā)射率
菲利華不透明石英
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