石英材料:0716-8304668/0716-8333088
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材料簡介
Introduction
電熔不透明石英玻璃擁有
低透過率,高熱反射率,
可以有效地降低熱損失,并能延長加熱部件的壽命。
該材料可以進(jìn)行焊接、火拋光以及高精度光學(xué)拋光處理,
擁有高密度,優(yōu)異的機(jī)加光潔度,火拋后良好的光潔度,更長的使用壽命。
適用于半導(dǎo)體熱處理制程。
Electric fused opaque quartz glass has low transmission, high heat reflectivity, which can effectively reduce heat loss and can extend the lifespan of heating parts. The material can be welded, fire-polished, and high-precision optical polished, featuring high density, excellent machining finish, good surface finish after firing, and longer service life. Suitable for semiconductor heat treatment processes.
物理性能
Physical Property
密度(g/cm3 )
孔隙率
孔徑
線膨脹系數(shù)( 0-900℃)10-6 ℃ -1
比熱(J/g·K) 在20℃條件下
最高工作溫度—持續(xù)穩(wěn)定的℃
最高工作溫度—短期℃
介電損耗角 室溫 13.56 MHz
熱導(dǎo)率(W/m·k) 在20℃條件下
2.18~2.19
<0.5%
<10 μm
0.45
0.75
1100
1300
2×10-4
1.39
雜質(zhì)含量
Chemical purity
雜質(zhì)元素典型值 (ppm)
Al
12.29
Ca
1.05
Mg
0.03
Cu
0.0
Fe
0.53
Ni
0.01
Mn
0.00
Li
0.30
K
0.47
Na
0.98
Zr
1.64
Ti
1.42
B
0.00
Co
0.00
總和
18.72
光學(xué)性能
Optical Properties
透過率
(400-2000nm)
反射率
(400-2200nm)
>0.5%
>60%
圖a.電熔不透明石英FSTQZ?W 透過率
圖b.電熔不透明石英FSTQZ?W 反射率
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