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石英材料:0716-8304668/0716-8333088

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電熔石英材料 FLH621 FLH621H FLH620L

 材料簡(jiǎn)介

 Introduction

電熔石英材料,具有羥基含量低、純度高、耐高溫性能強(qiáng)等特性。 
廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)作為擴(kuò)散爐及CVD爐元件的材料。

Main application: Electric fused quartz materia has characteristios such as low OH content, high purity, and strong high-temperature resistance. It is widely used as quartz parts for diffusion process and CVD furnace in semiconductor industry.


2-3 半導(dǎo)體 電熔石英材料 拷貝.jpg

電熔石英錠

2-3  電熔石英  拷貝.jpg

電熔石英管

2-3  電熔石英棒.jpg

電熔石英棒

  雜質(zhì)含量

  Chemical purity


FLH620L  雜質(zhì)元素典型值  (ppm)

Al

13

Ca

0.6

Mg

<0.05

Cu

<0.01

Fe

0.5

Ni

<0.05

Li

0.4

K

0.4

Mn

<0.05

Na

0.6

Zr

1

Ti

1.30

B

<0.01


FLH621  雜質(zhì)元素典型值  (ppm)

Al

14.2

Ca

0.6

Mg

<0.05

Cu

<0.01

Fe

0.23

Ni

<0.05

Li

0.44

K

0.25

Mn

<0.05

Na

0.12

Zr

Ti

1.30

B

0.08


FLH621H   雜質(zhì)元素典型值  (ppm)

Al

8.00

Ca

0.6

Mg

<0.05

Cu

<0.01

Fe

0.15

Ni

<0.05

Li

0.15

K

0.07

Mn

<0.05

Na

0.08

Zr

Ti

1.40

B

0.04

  物理性能

  Physical Property

力學(xué)性能

密度(g/cm3)

楊氏模量(GPa)

泊松比

抗彎強(qiáng)度(MPa)

抗壓強(qiáng)度(MPa)

抗拉強(qiáng)度(MPa)

抗扭強(qiáng)度(MPa)

莫氏硬度

2.2

75

0.17

65-95

1100

50

30

6-7

電學(xué)性能

介電常數(shù)

介電損耗

電阻率(Ω.cm)

3.74

0.0001

1×1016

熱學(xué)性能

應(yīng)變點(diǎn)(η=1014.5 ℃)

退火點(diǎn)(η=1013 ℃)

軟化點(diǎn)((η=107.8 ℃)

熱導(dǎo)率(W/m·k)(20℃)

比熱 (J/kg.k)

熱膨脹系數(shù)( x10 -7 /k)
α : 25℃ ~ 320 ℃

1150

1215

1710

1.38

749

5.2-5.8

      注:在沒有另外說明的情況下,所有值均指在25 ℃以下。       Other sizes available upon requests.


  光學(xué)性能

  Optical properties

00 電熔 紅外透過率1.jpg
00 電熔 紅外透過率2.jpg

      紅外透過率曲線。       Infrared Transmittance Curve.

00 電熔紫外透過率1.jpg
00 電熔紫外透過率2.jpg

      紫外透過率曲線。       Ultraviolet Transmittance Curve.

  菲利華電熔石英材料
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