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少羥基合成石英（F-HDUR）的金屬雜質(zhì)比低羥基合成石英更低，羥基含量則在200-300ppm。

F-HDUR has lower metal impurities than low hydroxyl synthetic quartz, with hydroxyl content in the range of 200-300 ppm.

      

雜質(zhì)含量

Chemical purity

金屬雜質(zhì)元素

Na

Al

Cr

含量 （ppm）

＜0.1 ppm

＜0.1 ppm

＜0.1 ppm

注：設(shè)備檢出限0.05ppm

紫外光譜透過率

UV spectral transmittance

波長

200nm

215nm

230nm

240nm

260nm

（T%）

86.77

90.37

90.95

91.37

91.98