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石英材料:0716-8304668/0716-8333088

石英纖維 銷售電話 : 18071880998

石英晶圓

材料簡介

Introduction

使用高品質(zhì)原材料生產(chǎn)的高精度、大尺寸、厚度為0.5mm的石英玻璃晶圓片,可根據(jù)客戶要求定制。 

使用高品質(zhì)的合成石英玻璃,最大尺寸可達(dá)φ300mm,最薄為0.5mm。高精度的平面度和表面粗糙度。

主要用途

Main Application

半導(dǎo)體制成、生物技術(shù)、MEMS(微電子機(jī)械系統(tǒng))、HTPS(高溫多晶硅TFT液晶)。

規(guī)格參數(shù)

Corresponding Specifications

厚度

尺寸公差
( mm )

平面度(PV)(通光面)

TTV

表面粗糙度(Ra)

劃痕

凹坑

崩邊
( μ m )

≥0.5 mm

直徑 ± 0.1 
厚度 ± 0.02 mm

≤ λ ( λ = 632.8mm )

≤ 1 μm ( φ 200 mm )

≤ 0.01 μm

寬度 ≤ 10 μm

直徑 ≤ 25 μm

≤ 300 μm (楞邊)
≤ 200 μm (表面)

詳細(xì)規(guī)格請致電詳談(尺寸φ300mm以內(nèi))


TTV(3D圖)

TTV

晶圓TTV 3D圖.jpg

TTV(曲線圖)

TTV Curve

晶圓TTV 曲線圖 拷貝.jpg

樣品測量值

Sample Measurement

φ300 mm

平面度(PV)(通光面)
≤ λ ( λ = 632.8mm )

表面粗糙度(Ra)≤ 0.01 μm

產(chǎn)品詳情咨詢:18272229653

地址:湖北省荊州市東方大道68號
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