石英材料:0716-8304668/0716-8333088
石英纖維 銷售電話 : 18071880998
材料簡介
Introduction
使用高品質(zhì)原材料生產(chǎn)的高精度、大尺寸、厚度為0.5mm的石英玻璃晶圓片,可根據(jù)客戶要求定制。
使用高品質(zhì)的合成石英玻璃,最大尺寸可達(dá)φ300mm,最薄為0.5mm。高精度的平面度和表面粗糙度。
主要用途
Main Application
半導(dǎo)體制成、生物技術(shù)、MEMS(微電子機(jī)械系統(tǒng))、HTPS(高溫多晶硅TFT液晶)。
規(guī)格參數(shù)
Corresponding Specifications
厚度
尺寸公差
( mm )
平面度(PV)(通光面)
TTV
表面粗糙度(Ra)
劃痕
凹坑
崩邊
( μ m )
≥0.5 mm
直徑 ± 0.1
厚度 ± 0.02 mm
≤ λ ( λ = 632.8mm )
≤ 1 μm ( φ 200 mm )
≤ 0.01 μm
寬度 ≤ 10 μm
直徑 ≤ 25 μm
≤ 300 μm (楞邊)
≤ 200 μm (表面)
詳細(xì)規(guī)格請致電詳談(尺寸φ300mm以內(nèi))
TTV(3D圖)
TTV
TTV(曲線圖)
TTV Curve
樣品測量值
Sample Measurement
φ300 mm
平面度(PV)(通光面)
≤ λ ( λ = 632.8mm )
表面粗糙度(Ra)≤ 0.01 μm
產(chǎn)品詳情咨詢:18272229653
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