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厚度

尺寸公差
（ mm ）

平面度（PV）（通光面）

TTV

表面粗糙度（Ra）

劃痕

凹坑

崩邊
（ μ m ）

≥0.5 mm

直徑 ± 0.1 
厚度 ± 0.02 mm

≤ λ （ λ = 632.8mm ）

≤ 1 μm （ φ 200 mm ）

≤ 0.01 μm

寬度 ≤ 10 μm

直徑 ≤ 25 μm

≤ 300 μm （楞邊）
≤ 200 μm （表面）

TTV（曲線圖）

TTV Curve

樣品測量值

Sample Measurement